擴散泵機組是目前獲得高真空的醉廣泛、醉主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

　　擴散泵機組的主泵是一種高真空泵，其工作介質為擴散泵油，其抽氣過程是被抽氣體擴散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機械泵帶走的過程，是一種抽速可以做得很高真空泵。油擴散泵不能單獨使用，必須有前級真空泵串聯，待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到擴散泵所能接受的壓力時才能開始工作，否則，油擴散泵將不能正常工作并造成氧化大量的返油等情況。該設備可用于真空爐體、真空罐體、氣站管道類等器件的真空排氣。

　　廣泛應用于：真空冶煉、真空焊接、分析儀器、功能型鍍膜、裝飾型鍍膜、電子管制造、電真空器件制造、光學、外層空間模擬、粒子加速器、石油化工、實驗室研發、半導體制造等領域。

　　擴散泵機組性能特點

　　1、具有很大的抽速和抽氣能力

　　2、在高真空階段具有恒定的最大抽氣能力

　　3、使用壽命長、基本不需要維護

　　擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。